乾式真空幫浦(Dry Pump)有哪些型式及特色?

乾式真空幫浦是一種不使用油或液體進行密封的非接觸型真空泵。

常見的乾式真空幫浦型式包括：

1. 多段魯式(Multi-stage Roots)：以ALCATEL 產品為五級的魯式轉子串聯，工作壓力可延伸至大氣壓力，性能上可得到不錯的效果。
2. 爪式(Claw)：抽氣量較魯式小，但是在接近大氣壓力的範圍有較佳的效果，因此設計上是以魯式轉子和爪式轉子串聯而成。目前市面上以EDWARDS產品為主。
3. 螺旋式(Screw)：由兩個螺紋方向相反的螺旋轉子及靜子，在轉子運轉時達成進氣、壓縮及排氣的功能，抽氣效率極佳。目前EDWARDS 新推出GXS系列即為此設計。