學術應用

真空系統是由許多不同的副件(Part)所組成的，如：閥( Valves)、管件(Tubing)、壓力計等，其中最重要的是pump，是真空系統的心臟是各種儀器及設備獲得低壓的來源。PUMP分兩種：一“為壓縮式”另為凝氣式。前者為RP BP DP 後者為CP真空PUMP其操作的方式及原理的不同而分為以上幾種主要型式 ，其目的不外乎是要將設備或儀器內的分子濃度降低，降阺壓力....

乾式真空幫浦是一種不使用油或液體進行密封的非接觸型真空泵。

常見的乾式真空幫浦型式包括：

1. 多段魯式(Multi-stage Roots)：以ALCATEL 產品為五級的魯式轉子串聯，工作壓力可延伸至大氣壓力，性能上可得到不錯的效果。
2. 爪式(Claw)：抽氣量較魯式小，但是在接近大氣壓力的範圍有較佳的效果，因此設計上是以魯式轉子和爪式轉子串聯而成。目前市面上以EDWARDS產品為主。
3. 螺旋式(Screw)：由兩個螺紋方向相反的螺旋轉子及靜子，在轉子運轉時達成進氣、壓縮及排氣的功能，抽氣效率極佳。目前EDWARDS 新推出GXS系列即為此設計。

當幫浦抽入易凝結的氣體或蒸氣，如水蒸氣、酒精蒸氣、或其他有機物蒸氣時，當幫浦將此類氣體或蒸氣壓縮到其分氣壓等於其飽和蒸氣壓時，此些蒸氣將凝結成液體而留於幫浦壓縮槽內或混合於幫浦油，當流向低壓側又揮發為氣態，如此於幫浦內造成不良循環不僅真空度變差而且可能減少幫浦壽命。
而空氣混抽閥（gas-ballast）的目的，即導入新鮮乾燥之空氣利用空氣混合殘留的蒸氣，而將其排出幫浦。