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HiCube 80 Eco 真空渦輪分子幫浦抽氣系統
Ready-for-use pumping station
- 不佔空間、插電立即用
- 操作簡便;整合式控制面板,包含turbopump、backing pump及全域式壓力計(選配)。
- 從999 ~ 5 X 10-8 mbar一指搞定
HiCube 80 Eco 超高真空渦輪分子幫浦抽氣系統 省電登場
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PFEIFFER HiPace 高真空渦輪分子幫浦
產品優點:
- 設計精巧,任何角度皆可安裝l 高效率、省電低功率
- 高壓縮比,可 > 1 x 1011
- 複合式培林(半磁浮式),堅固耐用
- 壽命長、可靠性高
- 終極壓力可達 5*10-10 mbar (CF法蘭)
- 規格尺寸齊全,抽氣速率涵蓋範圍 : 67 ~685 L/s,可滿足不同的使用需求。
國立大學物理實驗室、國家同步輻射研究中心、中央研究院..等,指定採購機型。
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PFEIFFER A200L Integrated pump for light duty processes
- 堅固耐用、信賴度高
- 體積精巧、不佔空間
- 省電、低噪音、低震動
- 適合Load-lock、transfer chambers或R&D應用