雙級旋葉油式真空幫浦
高信賴度
可經年長時間運轉
抽氣速率6.5 ~ 72 m3/h
終極壓力 2 × 10-3 mbar
產品範圍涵蓋廣，可針對不同需求做選擇：
I series : 低噪音、低震動，專為研究單位設計。
SD series : 標準型，不適合做為耐腐蝕應用。
C1 series : 耐腐蝕性氣體專用。
C2 series : 耐腐蝕性氣體，半導體產業專用。
高信賴度
可經年長時間運轉
抽氣速率6.5 ~ 72 m3/h
終極壓力 2 × 10-3 mbar
產品範圍涵蓋廣，可針對不同需求做選擇：
I series : 低噪音、低震動，專為研究單位設計。
SD series : 標準型，不適合做為耐腐蝕應用。
C1 series : 耐腐蝕性氣體專用。
C2 series : 耐腐蝕性氣體，半導體產業專用。