低運轉成本低噪音、低震動抽氣速率 14 ~ 37 m3/h終極壓力 3×10-2mbar
搭配各式前級幫浦, 可將工作範圍延伸至中真空甚或高真空區域範圍。
低壓下得到更大的抽氣速率。
抽氣速率:150~300~600~1000~2000 m3/h
高信賴度可經年長時間運轉抽氣速率6.5 ~ 72 m3/h終極壓力 2 × 10-3 mbar
Drytel 10257.5~30 l/s pumping system
ATH 400M, ATH1300M ,ATH1600M,ATH2300M
300~2100 l/s pumping speed 設計
全新磁浮五向動平橫 & N2 purge & Heater 設計
適用PVD, CVD, Etch製程
低耗能及高信賴性適用於半導體及嚴苛製程抽氣速率:112~1700 m3/h終極壓力: 6 × 10-3 mbar
無油氣及粉塵產生抽氣速率:112 m3/h終極壓力: 1.5 × 10-2 mbar
