氦氣測漏儀 ASM380
主要應用之產業別:
- 半導體產業
- 面板產業
- 連續性真空鍍膜產業
- 太陽能發電產業
- 發光二極體產業
- 生物科技製藥產業
一、產品主要人性化設計功能
- 接觸式操作螢幕，與背景值有顏色大數字顯示功能
- 業主所要求之測漏數值與曲線圖，使用SD卡存取，方便列印存檔
- 抬車設計大輪子載運，減少機台移動中之震動力量
- 機台使用電壓: 90-240V 50/60Hz(110V、220V電源共用)可以避免插錯電壓之電源，而造成內部電路板損毀
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二、產品領先業界規格設計功能
| 1、氦氣漏率最小背影值 | 5.10-12 mbar.l/s |
| 2、入口端最大測試壓力 | 15 mbar |
| 3、內部真空系統對於氦氣最大之抽氣速率 | 7 l/s |
| 4、乾式前級抽氣幫浦 | ACP40-35 m3/h |
| 5、高真空渦輪分子幫浦 | 150 l/sec. N2 抽氣速度 |
| 6、質譜儀燈絲 | 鍍Ir 材質(Ir/Y2O3) filaments |
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PFEIFFER ASM340 氦氣測漏儀
Low maintenance requirement
領先業界最長保固時間2年
- 堅固耐用、信賴度高
- 體積精巧、不佔空間
- 最小量測漏率(負壓測試)：< 5*10-12 mbar.l/s
- 適合真空系統或小型產品測漏