PFEIFFER HiPace 高真空渦輪分子幫浦
產品優點：
- 設計精巧，任何角度皆可安裝l 高效率、省電低功率
- 高壓縮比，可 > 1 x 1011
- 複合式培林(半磁浮式)，堅固耐用
- 壽命長、可靠性高
- 終極壓力可達 5*10-10 mbar (CF法蘭)
- 規格尺寸齊全，抽氣速率涵蓋範圍 : 67 ~685 L/s，可滿足不同的使用需求。
國立大學物理實驗室、國家同步輻射研究中心、中央研究院..等，指定採購機型。
型號名稱 | HiPace 80 | HiPace 300 | HiPace 400 | HiPace 700 |
連接法蘭(進氣口) | DN 63 | DN 100 | DN 100 | DN 160 |
連接法蘭(排氣口) | DN16 | DN16 | DN 25 | DN25 |
抽氣速率 | 氮氣 N2 67 l/s | 氮氣 N2 260 l/s | 氮氣 N2 355 l/s | 氮氣 N2 685 l/s |
氦氣 He 58 l/s | 氦氣 He 255 l/s | 氦氣 He 470 l/s | 氦氣 He 655 l/s | |
氫氣 H2 48 l/s | 氫氣 H2 220 l/s | 氫氣 H2 445 l/s | 氫氣 H2 655 l/s | |
壓縮比 | 氮氣 N2 >1 x 1011 | 氮氣 N2 >1 x 1011 | 氮氣 N2 >1 x 1011 | 氮氣 N2 >1 x 1011 |
終極壓力 | <1 x 10-7 mbar | <1 x 10-7 | <1 x 10-7 | <1 x 10-7 |
啟動時間 | 1.7 min | 3.5 min | 2 min | 2 min |
重量 | 2.4 kg | 5.8 kg | 11.6 kg | 11.5 kg |
相關產品
MORE
DUO 油迴轉式幫浦
- Duo11 ATEX 防爆馬達
- 可靠、高安全性
- 設計簡單、易於安裝
- 抽氣速率 1.5 ~ 300 m3/h
- 耐用的軸桿密封零件
- 低保養維護頻率、低保養費用
- 可選擇標準型磁力軸封(M)，或磁力軸封(MC)的馬達
MORE
PFEIFFER Hiscroll 6 /12 / 18
- 完全無油、免潤滑，可避免污染
- 葉片式機身，加速幫浦散熱
- 各部件配合簡便，易於保養維修
- 省電、低噪音，世界最高規格
- 隨插即用， 無需佈線和安裝
- 抽氣速率 6~18 m3/h
- 終極壓力 9.0 x 10-3
- 噪音值 47 db
- 結構堅固，壽命長，可靠性高
- 寬電壓 110V ~ 220V 設計
MORE
PFEIFFER A200L Integrated pump for light duty processes
- 堅固耐用、信賴度高
- 體積精巧、不佔空間
- 省電、低噪音、低震動
- 適合Load-lock、transfer chambers或R&D應用
