1、幫浦大小及型式可依不同需求任意搭配。
2、整合式控制器,可同時控制Turbopump、Backing pump及Gauge,操作及維護簡便。
3、前級幫浦有機械式及隔膜式幫浦可供選擇,適合一般實驗室及小型鍍膜系統使用。
4、設計精巧,完整配備,插電可立即使用。
5、省電、經濟、高效能。
Technical Specification
Pumping speed for N2 | |
NW40 | 35 l/s |
ISO/CF63 | 67 l/s |
Ultimate Pressure | 1 x 10-7 mbar |
Backing pump speed @50Hz | 1.8 m3/hr |
Ultimate Pressure | 1 x 10-7 mbar |
Inlet flange | NW40, ISO63 or CF63 |
Exhaust flange | Silencer, G 1/8" |
Mass | 13.7kg |
Cooling Method,Standard | Air |
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