PFEIFFER A200L Integrated pump for light duty processes
- 堅固耐用、信賴度高
- 體積精巧、不佔空間
- 省電、低噪音、低震動
- 適合Load-lock、transfer chambers或R&D應用
1、高效能、高抽氣速度、更低的耗電功率。
2、設計精巧、移動方便、堅固耐用。
3、低噪音、低震動。
4、可符合半導體業、R&D單位、低溫…等輕製程應用。
5、長期穩定度及信賴度高。
抽氣速率 | 200 m3/h |
終極壓力 | 6*10-3 Torr |
電壓 | 200 – 230 V, 3 phases, 50/60 Hz |
功率 | 700W |
噪音值 | < 58 dB (A) |
冷卻水流量 | 100~200 l/h |
尺寸 (L*W*H) | 600*280*300 mm |
重量 | 100 kg |
進/排 氣口法蘭 | NW50 / NW25 |
作業環境溫度 | 5 ~ 40°C |
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- 壽命長、可靠性高
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- 規格尺寸齊全，抽氣速率涵蓋範圍 : 67 ~685 L/s，可滿足不同的使用需求。
國立大學物理實驗室、國家同步輻射研究中心、中央研究院..等，指定採購機型。
