高性能氦氣測漏儀
移動式高性能氦氣測漏儀，更強大的真空系統帶來無與倫比的性能，性能優越、操作便捷使您的氦氣測漏應用更加簡單有效率。
Low maintenance requirement
領先業界最長保固時間2年
Performances
- 粗抽幫浦：ACP40
- 渦輪分子幫浦：Splitflow80
- 最小量測漏率(負壓測試)：< 1*10-12 mbar.l/s
- 專為維護生產而設計
- 滿足全部半導體應用範圍，如：蝕刻，CVD….
- 靈敏度和靈活度的完美結合
- 超快速和準確的洩漏測試
- 大面板觸控顯示，易於操作
- 高性能乾式無油前級粗抽幫浦
- 在氦污染的情況下快速恢復
- 低維護要求
- 工具箱設計，便於存放配件
- 即使在狹小的空間中，同樣擁有高度機動性
產品領先業界規格設計功能
最小量測漏率(負壓測試) | < 1*10-12 mbar.l/s |
最小量測漏率(正壓測試) | < 2*10-8 mbar.l/s |
最大入口測試壓力 | 20 bar |
粗抽能力 | 35 m3/h |
氦氣抽氣速率 | >25 l/sec |
開機時間 | 2 min |
電壓 | 110~220V |
最大功率 | 1800W |
尺寸 (L*W*H) | 1072*455*1025 mm |
重量 | 132kg |
作業環境溫度 | 10~35°C |
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PFEIFFER ASM340 氦氣測漏儀
Low maintenance requirement
領先業界最長保固時間2年
- 堅固耐用、信賴度高
- 體積精巧、不佔空間
- 最小量測漏率(負壓測試)：< 5*10-12 mbar.l/s
- 適合真空系統或小型產品測漏