渦輪分子幫浦

ATH 400M, ATH1300M ,ATH1600M,ATH2300M

300~2100 l/s pumping speed 設計

全新磁浮五向動平橫 & N2 purge & Heater 設計

適用PVD, CVD, Etch製程

High exhaust pressure up to 40 mbar

產品優點：

• 設計精巧，任何角度皆可安裝l 高效率、省電低功率
• 高壓縮比，可 > 1 x 1011
• 複合式培林(半磁浮式)，堅固耐用
• 壽命長、可靠性高
•  終極壓力可達 5*10-10 mbar (CF法蘭)
• 規格尺寸齊全，抽氣速率涵蓋範圍 : 67 ~685 L/s，可滿足不同的使用需求。

國立大學物理實驗室、國家同步輻射研究中心、中央研究院..等，指定採購機型。