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PFEIFFER A200L Integrated pump for light duty processes

PFEIFFER A200L Integrated pump for light duty processes

堅固耐用、信賴度高

體積精巧、不佔空間

省電、低噪音、低震動

適合Load-locktransfer chambersR&D應用

 

一、產品主要特色

 

1高效能、高抽氣速度、更低的耗電功率。

2、設計精巧、移動方便、堅固耐用

3、低噪音、低震動。

4可符合半導體業、R&D單位、低溫等輕製程應用

5、長期穩定度及信賴度高

 

二、產品領先業界規格設計功能

 

抽氣速率

200 m3/h

終極壓力

6*10-3 Torr

電壓

200 – 230 V, 3 phases, 50/60 Hz 

功率

700W

噪音值

< 58 dB (A)

冷卻水流量

100~200 l/h

尺寸 (L*W*H)

600*280*300 mm

重量

100 kg

/排 氣口法蘭

NW50 / NW25

作業環境溫度

5 ~ 40°C

 

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