中英友科技有限公司 地址: 新竹縣竹北市縣政十一街81號 電話: 03-558-8099 傳真: 03-558-8299 E-MAIL: ptpump.m31@msa.hinet.net
堅固耐用、信賴度高
體積精巧、不佔空間
省電、低噪音、低震動
適合Load-lock、transfer chambers或R&D應用
一、產品主要特色
1、高效能、高抽氣速度、更低的耗電功率。
2、設計精巧、移動方便、堅固耐用。
3、低噪音、低震動。
4、可符合半導體業、R&D單位、低溫…等輕製程應用。
5、長期穩定度及信賴度高。
二、產品領先業界規格設計功能
抽氣速率
200 m3/h
終極壓力
6*10-3 Torr
電壓
200 – 230 V, 3 phases, 50/60 Hz
功率
700W
噪音值
< 58 dB (A)
冷卻水流量
100~200 l/h
尺寸 (L*W*H)
600*280*300 mm
重量
100 kg
進/排 氣口法蘭
NW50 / NW25
作業環境溫度
5 ~ 40°C