中英友科技(安百立科技)，Partnertech Instruments International Corporation，真空閥門、真空計、高真空抽氣系統，舊有系統之部品元件維修&升級

2018年6月21日

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阿爾卡特真空科技

Alcatel氦氣測漏儀-到廠檢修

	我們將提供ALCATEL全系列氦氣測漏儀機型，客服工程師到廠檢修，讓貴廠之氦氣測漏儀設備，能夠即時得到專業的諮詢回饋，充分發揮機台負責人在使用上的操作效率。 1. *提供氦氣測漏儀現場維修 &機台故障排除。* 2. 高價收購中古氦氣測漏儀，舊機換新機 3. 完整真空系統測漏方法的提供者。**

ASM182 氦氣測漏儀

	ASM 182TD+ 的最大幫浦抽氣速率的設計，帶給所有氦氣測漏儀的使用者，能夠在最短之測漏時間，完成真空系統腔體與管路之漏點檢測工作。

A100L A300H SERIES

	最精巧的尺寸設計低噪音、低震動低運轉成本及高信賴渡抽氣速率 95 ~ 320 m³/h 終極壓力 6×10^-2~6.6×10^-3 mbar

MDP Series(拖曳式渦輪分子幫浦)

	High exhaust pressure up to 40 mbar

ADP ADS SERIES TWO

	低耗能及高信賴性適用於半導體及嚴苛製程抽氣速率:112~1700 m³/h 終極壓力: 6 × 10^-3 mbar

ATH-M Series(全磁浮渦輪分子幫浦)

	ATH 400M, ATH1300M ,ATH1600M,ATH2300M 300~2100 l/s pumping speed 設計全新磁浮五向動平橫 & N2 purge & Heater 設計適用PVD, CVD, Etch製程

ASM142 氦氣測漏儀

	ASM 142 的優良設計，帶給所有氦氣測漏儀的使用者，一項全方位的設計功能，使操作者方便使用。

ACP15

	低運轉成本低噪音、低震動抽氣速率 14 ~ 37 m³/h 終極壓力 3×10^-2mbar

ATP Series(渦輪分子幫浦)

	ATP80 ,ATP100, ATP150, ATP400, ATP900 80~900 l/s pumping speed 全乾式渦輪分子幫浦

ACP120

	無油氣及粉塵產生抽氣速率:112 m³/h 終極壓力: 1.5 × 10^-2 mbar

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