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阿爾卡特真空科技
Alcatel氦氣測漏儀-到廠檢修
 

我們將提供ALCATEL全系列氦氣測漏儀機型,客服工程師到廠檢修,讓貴廠之氦氣測漏儀設備,能夠即時得到專業的諮詢回饋,充分發揮機台負責人在使用上的操作效率

 
1.      提供氦氣測漏儀現場維修 &機台故障排除。
2.      高價收購中古氦氣測漏儀,舊機換新機
3.  完整真空系統測漏方法的提供者。
 
ASM182 氦氣測漏儀
 
ASM182 氦氣測漏儀 ASM 182TD+ 的最大幫浦抽氣速率的設計,帶給所有氦氣測漏儀的使用者,能夠在最短之測漏時間,完成真空系統腔體與管路之漏點檢測工作 。
 
A100L A300H SERIES
 
乾式真空幫浦 最精巧的尺寸設計
低噪音、低震動
低運轉成本及高信賴渡
抽氣速率 95 ~ 320 m3/h
終極壓力 6×10-2~6.6×10-3 mbar
 
MDP Series(拖曳式渦輪分子幫浦)
 
MDP Series(拖曳式渦輪分子幫浦) High exhaust pressure up to 40 mbar
 
ADP ADS SERIES TWO
 
乾式真空幫浦 低耗能及高信賴性
適用於半導體及嚴苛製程
抽氣速率:112~1700 m3/h
終極壓力: 6 × 10-3 mbar
 
ATH-M Series(全磁浮渦輪分子幫浦)
 
ATH-M Series(全磁浮渦輪分子幫浦) ATH 400M, ATH1300M ,ATH1600M,ATH2300M
300~2100 l/s pumping speed 設計
全新磁浮五向動平橫 & N2 purge & Heater 設計
適用PVD, CVD, Etch製程
 
ASM142 氦氣測漏儀
 
ASM142 氦氣測漏儀 ASM 142 的優良設計,帶給所有氦氣測漏儀的使用者,一項全方位的設計功能,使操作者方便使用 。
 
ACP15
 
乾式幫浦(Dry pump) 低運轉成本
低噪音、低震動
抽氣速率 14 ~ 37 m3/h
終極壓力 3×10-2mbar
 
ATP Series(渦輪分子幫浦)
 
ATP Series(渦輪分子幫浦) ATP80 ,ATP100, ATP150, ATP400, ATP900
80~900 l/s pumping speed 全乾式渦輪分子幫浦
 
ACP120
 
乾式真空幫浦 無油氣及粉塵產生
抽氣速率:112 m3/h
終極壓力: 1.5 × 10-2 mbar
 

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