| Alcatel氦氣測漏儀-到廠檢修 |
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我們將提供ALCATEL全系列氦氣測漏儀機型，客服工程師到廠檢修，讓貴廠之氦氣測漏儀設備，能夠即時得到專業的諮詢回饋，充分發揮機台負責人在使用上的操作效率 。
1. 提供氦氣測漏儀現場維修 &機台故障排除。
2. 高價收購中古氦氣測漏儀，舊機換新機
3. 完整真空系統測漏方法的提供者。 |
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| ASM182 氦氣測漏儀 |
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ASM 182TD+ 的最大幫浦抽氣速率的設計，帶給所有氦氣測漏儀的使用者，能夠在最短之測漏時間，完成真空系統腔體與管路之漏點檢測工作 。
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| ATH-M Series(全磁浮渦輪分子幫浦) |
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ATH 400M, ATH1300M ,ATH1600M,ATH2300M
300~2100 l/s pumping speed 設計
全新磁浮五向動平橫 & N2 purge & Heater 設計
適用PVD, CVD, Etch製程 |
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| PFEIFFER ASM340 氦氣測漏儀 |
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Low maintenance requirement
領先業界最長保固時間2年
堅固耐用、信賴度高
體積精巧、不佔空間
最小量測漏率(負壓測試)：< 5*10-12 mbar.l/s
適合真空系統或小型產品測漏
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| ACP15 |
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低運轉成本
低噪音、低震動
抽氣速率 14 ~ 37 m3/h
終極壓力 3×10-2mbar |
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| ACP120 |
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無油氣及粉塵產生
抽氣速率:112 m3/h
終極壓力: 1.5 × 10-2 mbar
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