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堅固耐用、信賴度高
體積精巧、不佔空間
省電、低噪音、低震動
適合Load-lock、transfer chambers或R&D應用
Ready-for-use pumping station
不佔空間、插電立即用
操作簡便;整合式控制面板,包含turbopump、backing pump及全域式壓力計(選配)。從999 ~ 5 X 10-8 mbar一指搞定
Low maintenance requirement
領先業界最長保固時間2年
最小量測漏率(負壓測試):< 5*10-12 mbar.l/s
適合真空系統或小型產品測漏