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阿爾卡特真空科技
Alcatel氦氣測漏儀-到廠檢修
 

我們將提供ALCATEL全系列氦氣測漏儀機型,客服工程師到廠檢修,讓貴廠之氦氣測漏儀設備,能夠即時得到專業的諮詢回饋,充分發揮機台負責人在使用上的操作效率

 
1.      提供氦氣測漏儀現場維修 &機台故障排除。
2.      高價收購中古氦氣測漏儀,舊機換新機
3.  完整真空系統測漏方法的提供者。
 
ASM182 氦氣測漏儀
 
ASM182 氦氣測漏儀 ASM 182TD+ 的最大幫浦抽氣速率的設計,帶給所有氦氣測漏儀的使用者,能夠在最短之測漏時間,完成真空系統腔體與管路之漏點檢測工作 。
 
PFEIFFER A200L Integrated pump for light duty processes
 

堅固耐用、信賴度高

體積精巧、不佔空間

省電、低噪音、低震動

適合Load-locktransfer chambersR&D應用

 
MDP Series(拖曳式渦輪分子幫浦)
 
MDP Series(拖曳式渦輪分子幫浦) High exhaust pressure up to 40 mbar
 
ADP ADS SERIES TWO
 
乾式真空幫浦 低耗能及高信賴性
適用於半導體及嚴苛製程
抽氣速率:112~1700 m3/h
終極壓力: 6 × 10-3 mbar
 
ATH-M Series(全磁浮渦輪分子幫浦)
 
ATH-M Series(全磁浮渦輪分子幫浦) ATH 400M, ATH1300M ,ATH1600M,ATH2300M
300~2100 l/s pumping speed 設計
全新磁浮五向動平橫 & N2 purge & Heater 設計
適用PVD, CVD, Etch製程
 
HiCube 80 Eco 超高真空渦輪分子幫浦抽氣系統 省電登場
 

 

Ready-for-use pumping station

不佔空間、插電立即用

 

操作簡便;整合式控制面板,包含turbopumpbacking pump及全域式壓力計(選配)。從999 ~ 5 X 10-8  mbar一指搞定

 

 
PFEIFFER ASM340 氦氣測漏儀
 

 Low maintenance requirement

領先業界最長保固時間2

堅固耐用、信賴度高

體積精巧、不佔空間

最小量測漏率(負壓測試)< 5*10-12 mbar.l/s

適合真空系統或小型產品測漏

 

 
ACP15
 
乾式幫浦(Dry pump) 低運轉成本
低噪音、低震動
抽氣速率 14 ~ 37 m3/h
終極壓力 3×10-2mbar
 
ACP120
 
乾式真空幫浦 無油氣及粉塵產生
抽氣速率:112 m3/h
終極壓力: 1.5 × 10-2 mbar
 

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