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| STP Series(全磁浮渦輪分子幫浦) |
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STP-iX455, STP 301/301C, STP 603/603C, STP 1003/1003C, STPH 301C, STPH 451C, STPA 803C, STPA 1303C, STPA 1603C ,
STPA 2203C,STP-XA2703C, STP-XA3203C, STP-XA4503C
300~4300 l/s pumping speed 設計
全磁浮五向動平橫設計,可承受異常震動和破大氣損壞
半導體,液晶面板領導品牌
適用PVD, CVD, Etch製程
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| Vacuum Gauge(真空計和顯示器) |
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APG 100, APGX-H, ATC, ASG, AIM-X, WRG, AIGX, CG16K
760~1.0-10 torr 全系列真空計
特殊的腐蝕性氣體真空計
獨特的全領域真空計,滿足所有的真空量測範圍
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| 大抽氣效率油式真空幫浦 |
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212J,412J,612J,912J
pumping speed 255~1240 m3/h
Efficient, time proven design to deliver ease of maintenance
Low 500 rpm operation for longest pump life cycle
Low ultimate blank-off – pressures down to < 10-2 Torr
Robust cast and ductile iron construction
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| 大抽氣效率魯式幫浦 |
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607,615,61B,622,HV8000,HV30000
pumping speed 1020~6630 m3/h
Rugged design for reliable and extended operation
Simple maintenance features incorporated in design
Vertical or horizontal gas flow |
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| EDWARDS E2M40油迴轉式真空幫浦 (現貨報價優惠中) |
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★ 可應用之範圍產業》》》
●真空冶金製程技術-機械材料業。
●薄膜真空濺鍍、蒸鍍機台技術-3C 電子業。
●製藥冷凍乾燥技術-製藥產業。
●冷凍空調系統之排氣、乾燥、充填裝置。
●抽氣速率：840 l/min、終極壓力：1.5X10-3 TORR。
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| 工業用乾式幫浦 |
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應用廣泛
堅固耐用、保養容易
抽氣速率 160 ~ 3450 m3/h
終極壓力 10-3 mbar
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| EDWARDS nXDS15 i乾式真空幫浦 (新產品發表中) |
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EDWARDS nXDS15 i乾式真空幫浦(新產品)
●最先進渦捲式幫浦外觀造型和軸封氣密技術。
●低於52 dB(A)，業界規格最低噪音值標準。
●操作便利，控制器螢幕採用人性化設計。
●五年免保養，維修費用最低。
●抽氣速率110、210、280、460 l/min共四機種。
●國立大學(物理實驗室)、同步輻射研究中心，
指訂採購之最安靜乾式幫浦設備
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| 半導體製程用乾式幫浦 |
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低運轉成本
低噪音、低震動
抽氣速率 105 ~ 800 m3/h
終極壓力 10-3 mbar
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