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高真空渦輪分子幫浦
EXT and nEXT Series(渦輪分子幫浦)
 
EXT and nEXT Series(渦輪分子幫浦) EXT 75DX,nEXT 240D,nEXT300D,nEXT400D,EXT 556H
42~540 l/s pumping speed 全乾式渦輪分子幫浦
 
STP Series(全磁浮渦輪分子幫浦)
 
STP Series(全磁浮渦輪分子幫浦) STP-iX455, STP 301/301C, STP 603/603C, STP 1003/1003C, STPH 301C, STPH 451C, STPA 803C, STPA 1303C, STPA 1603C ,
STPA 2203C,STP-XA2703C, STP-XA3203C, STP-XA4503C
300~4300 l/s pumping speed 設計
全磁浮五向動平橫設計,可承受異常震動和破大氣損壞
半導體,液晶面板領導品牌
適用PVD, CVD, Etch製程
 
  
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