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高真空渦輪分子幫浦
MDP Series(拖曳式渦輪分子幫浦)
 
MDP Series(拖曳式渦輪分子幫浦) High exhaust pressure up to 40 mbar
 
ATH-M Series(全磁浮渦輪分子幫浦)
 
ATH-M Series(全磁浮渦輪分子幫浦) ATH 400M, ATH1300M ,ATH1600M,ATH2300M
300~2100 l/s pumping speed 設計
全新磁浮五向動平橫 & N2 purge & Heater 設計
適用PVD, CVD, Etch製程
 
HiCube 80 Eco 超高真空渦輪分子幫浦抽氣系統 省電登場
 

 

Ready-for-use pumping station

不佔空間、插電立即用

 

操作簡便;整合式控制面板,包含turbopumpbacking pump及全域式壓力計(選配)。從999 ~ 5 X 10-8  mbar一指搞定

 

 
Drytel Series(高真空抽氣系統)
 
Drytel Series(高真空抽氣系統) Drytel 1025
7.5~30 l/s pumping system
 
  
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