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MDP Series(拖曳式渦輪分子幫浦)
 
MDP Series(拖曳式渦輪分子幫浦) High exhaust pressure up to 40 mbar
 
ATH-M Series(全磁浮渦輪分子幫浦)
 
ATH-M Series(全磁浮渦輪分子幫浦) ATH 400M, ATH1300M ,ATH1600M,ATH2300M
300~2100 l/s pumping speed 設計
全新磁浮五向動平橫 & N2 purge & Heater 設計
適用PVD, CVD, Etch製程
 
Drytel Series(高真空抽氣系統)
 
Drytel Series(高真空抽氣系統) Drytel 1025
7.5~30 l/s pumping system
 
  
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