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中英友科技有限公司
地址: 新竹縣竹北市縣政十一街81號
TEL: 886-3-558-8099
FAX: 886-3-558-8299
E-MAIL: ptpump@seed.net.tw

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ATH-M Series(全磁浮渦輪分子幫浦)
 
ATH 400M, ATH1300M ,ATH1600M,ATH2300M
300~2100 l/s pumping speed 設計
全新磁浮五向動平橫 & N2 purge & Heater 設計
適用PVD, CVD, Etch製程
 
Roots pumping systems
 
輔助式魯式真空幫浦抽氣系統 搭配各式前級幫浦, 可將工作範圍延伸至中真空甚或高真空區域範圍。
低壓下得到更大的抽氣速率。
抽氣速率:150~300~600~1000~2000 m3/h
 
Alcatel氦氣測漏儀-到廠檢修
 

我們將提供ALCATEL全系列氦氣測漏儀機型,客服工程師到廠檢修,讓貴廠之氦氣測漏儀設備,能夠即時得到專業的諮詢回饋,充分發揮機台負責人在使用上的操作效率

 
1.      提供氦氣測漏儀現場維修 &機台故障排除。
2.      高價收購中古氦氣測漏儀,舊機換新機
3.  完整真空系統測漏方法的提供者。
 
ACP120
 
乾式真空幫浦 無油氣及粉塵產生
抽氣速率:112 m3/h
終極壓力: 1.5 × 10-2 mbar
 
RSV SERIES
 
魯式真空幫浦 堅固、可靠
高抽氣速率
抽氣速率 360 ~ 1310 m3/h
 
Vacuum Right Angle Valves
 
手動/氣動真空直角閥門 客製化之手動及氣動真空直角閥門,帶給所有真空系統的設計者,串連幫浦相互連接功能,避免管路內油氣回滲產生 。
●6英吋至14英吋法蘭
●NW100至NW320法蘭
●客製化/手動/氣動閥門
 
ASM182 氦氣測漏儀
 
ASM182 氦氣測漏儀 ASM 182TD+ 的最大幫浦抽氣速率的設計,帶給所有氦氣測漏儀的使用者,能夠在最短之測漏時間,完成真空系統腔體與管路之漏點檢測工作 。
 
GE Moisture IQ
 

 ●Up to 6 channels of moisture measurement

●Each channel can include optional pressure, temperature,

   oxygen, and other analog inputs

●Calibrations traceable to national standards

●Rack, bench, and panel versions available now and

   weatherproof and explosion-proof configurations

   available soon

●Computer-enhanced response software for abrupt

   dry-down applications

●Real time touch screen display of six or twelve parameters

   simultaneously

●Displays trace measurements in the most common moisture

   measurement units

●Built-in data logging

●USB port for data handling and instrument program updates

●Digital capabilities including Ethernet, Modbus, and RS232/485

●Analog outputs include recorder outputs and measure ment relays

●Fault condition alarm relay

●Built in Henry's Law constants database for liquid applications

 
MDP Series(拖曳式渦輪分子幫浦)
 
MDP Series(拖曳式渦輪分子幫浦) High exhaust pressure up to 40 mbar
 
PASCAL SERIES
 
PASCAL SERIES雙級旋葉油式真空幫浦 高信賴度
可經年長時間運轉
抽氣速率6.5 ~ 72 m3/h
終極壓力 2 × 10-3 mbar
 

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