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ASM 380 氦氣測漏儀

ASM 380 氦氣測漏儀

ASM 380 氦氣測漏儀

ASM 380 主要應用之產業別:
• 半導體產業
• 面板產業
•連續性真空鍍膜產業
• 太陽能發電產業
• 發光二極體產業
• 生物科技製藥產業

一、產品主要人性化設計功能

接觸式操作螢幕，與背景值有顏色大數字顯示功能
業主所要求之測漏數值與曲線圖，使用SD卡存取，方便列印存檔
抬車設計大輪子載運，減少機台移動中之震動力量
機台使用電壓: 90-240V 50/60Hz(110V、220V電源共用)可以避免插錯電壓之電源，而造成內部電路板損毀

二、產品領先業界規格設計功能

1、氦氣漏率最小背影值	5.10^-12mbar.l/s
2、入口端最大測試壓力	15 mbar
3、內部真空系統對於氦氣最大之抽氣速率	7 l/s
4、乾式前級抽氣幫浦	ACP40-35 m^3/h
5、高真空渦輪分子幫浦	150 l/sec. N₂ 抽氣速度
6、質譜儀燈絲	鍍Ir 材質(Ir/Y₂O₃) filaments

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