中英友科技(安百立科技)，Partnertech Instruments International Corporation，真空閥門、真空計、高真空抽氣系統，舊有系統之部品元件維修&升級

Friday, April 19, 2024

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Catalog

Manufacturers

Turbomolecular pumps

ATH-M Series(全磁浮渦輪分子幫浦)

	ATH 400M, ATH1300M ,ATH1600M,ATH2300M 300~2100 l/s pumping speed 設計全新磁浮五向動平橫 & N2 purge & Heater 設計適用PVD, CVD, Etch製程

MDP Series(拖曳式渦輪分子幫浦)

	High exhaust pressure up to 40 mbar

ATP Series(渦輪分子幫浦)

	ATP80 ,ATP100, ATP150, ATP400, ATP900 80~900 l/s pumping speed 全乾式渦輪分子幫浦