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ATP Series(渦輪分子幫浦)

ATP Series(渦輪分子幫浦)
ATP Series(渦輪分子幫浦)
ATP80 ,ATP100, ATP150, ATP400, ATP900
80~900 l/s pumping speed 全乾式渦輪分子幫浦
ATP Series(渦輪分子幫浦)
ATP 80 渦輪分子幫浦
ATP 100 渦輪分子幫浦
ATP 150 渦輪分子幫浦
ATP 400 渦輪分子幫浦
ATP 900 渦輪分子幫浦
 

 應用領域

  • Space simulation
  • Thin film deposition
  • Ion pump evacuation
  •  UHV system
  • Particles accelerator
  •  Ion source
  • Surface analysis
  • Mass spectrometer
  •  Scanning electron microscope
  • Leak detection

規格資料

型號 抽氣法蘭 抽氣效率for N2 安裝方向
ATP 80 ISO 63 80 l/s Any
ATP 100 ISO 100 100 l/s Any
ATP 150 ISO 100 140 l/s Any
ATP 400 ISO 100 400 l/s Any
ATP 900 ISO 100 900 l/s Any

 
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