1.量測範圍: 10-4 Torr~ 10-13 Torr
2.量測原理:熱燈絲放射之電子被加速後，與系統中之氣體分子碰撞，並且將之游離，正離子被集極(collector)收集，其所造成之電流大小與分子數目多少，即系統壓力成比例關系，由電流之量測以作壓力之指示。
3.特性:
(a)高真空系統中廣為使用之真空計
(b)準確度高
(c)壓力指示與氣體成份有關
4.熱離子真空計使用時注意事項:
(1)壓力高或未知系統壓力時，暫勿使用
(2)感測頭應放置於不易碰撞之位置
(3)燈絲熱時，勿暴露於大氣
(4)不做度量時，關掉真空計以維持壽命，並預防真空系統內壓力突增對真空計可能造成之損害
(5)須瞭解真空系統之特性,含有特殊氣體時需做校正
(6)污染時需清洗
(7)除氣的方法，時機與所需時間如下:
(a)柵極(Grid)加熱
(b)電子撞擊(Electeon Bombard)
(c)烘烤(Baking)
(d)時機:最好氣壓＜10-6 torr
(e)時間:初次除氣約15~20分鐘，以後約需15秒