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回覆主題 主題: 真空計--何謂熱陰極離子化真空計(Hot-Cathode Ionization Gauge)?
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張貼由 張冠迪 在 2013-06-28 16:06:59
1.量測範圍: 10-4 Torr~ 10-13 Torr 2.量測原理:熱燈絲放射之電子被加速後，與系統中之氣體分子碰撞，並且將之游離，正離子被集極(collector)收集，其所造成之電流大小與分子數目多少，即系統壓力成比例關系，由電流之量測以作壓力之指示。 3.特性: (a)高真空系統中廣為使用之真空計 (b)準確度高 (c)壓力指示與氣體成份有關 4.熱離子真空計使用時注意事項: (1)壓力高或未知系統壓力時，暫勿使用 (2)感測頭應放置於不易碰撞之位置 (3)燈絲熱時，勿暴露於大氣 (4)不做度量時，關掉真空計以維持壽命，並預防真空系統內壓力突增對真空計可能造成之損害 (5)須瞭解真空系統之特性,含有特殊氣體時需做校正 (6)污染時需清洗 (7)除氣的方法，時機與所需時間如下: (a)柵極(Grid)加熱 (b)電子撞擊(Electeon Bombard) (c)烘烤(Baking) (d)時機:最好氣壓＜10-6 torr (e)時間:初次除氣約15~20分鐘，以後約需15秒
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