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真空計--何謂冷極真空計(Cold Cathode Gauge)，又稱為彭甯真空計(Penning Gauge)?

最新張貼時間 2013-06-28 08:08:27 張冠迪. 0 回覆.

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張冠迪

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2013-06-28 08:08:27	引用回覆
1. 量測範圍: 10-2 Torr~ 10-7 Torr 2.量測原理:低氣體壓力時陰陽極間加以高電壓，如圖所示。放電過程與離子邦浦之原理相同，其電流大小之量測以作壓力之指示。 3.特點: ●曝露大氣並不損害該真空計 ●堅固耐用、價廉、易於使用 ●污染後易於清洗，污染之真空計壓力指示偏低 ●在高真空(小於10-6托爾)時不易啟動，必須等待數秒或更久之時間 ●指針幌動厲害時，表示感測頭嚴重污染 ●必須注意漏電流造成之誤差及高壓之安全性

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