一、油霧過濾器(Outlet Mist Filter)：
機械幫浦運轉時機體溫度很高，為阻止油蒸氣隨氣體排出，通常會使用油霧過濾器以減少油消耗。

二、分子篩油過濾器(Foreline Trap) ：
為防止油氣回流(back-migration)汙染系統。

三、濾塵器(Inlet Dust Filter) ：
真空系統中反應產生的固體微粒若混在幫浦中，長對機械幫浦造成傷害，因此須予以過濾。