1.隔斷閥(isolation valve) ： 用來阻絕導通管路、真空幫浦、真空腔室等。
2.進氣閥(gas inlet valve) ：將氣體從外界引入真空系統中，通常要求必須能調整氣體流量。
3.節流閥(throttle valve) ：主要用在調節抽氣速率，以控制系統之真空度。