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氦氣測漏儀--真空系統測漏皆選用氦氣測漏儀,而為何選用氦氣做為示蹤氣體?
:
張貼由 張冠迪 在 2013-09-18 13:51:25
(1)質量最輕的惰性氣體(4 a.m.u.),能穿透微小的細縫或小孔. (2)能很容易的被質譜儀偵測到,亦即很容易和質量相近的氣體分開. (3)在大氣中存在的量很少,只有5ppm (4)價格合理 (5)無破壞性 (6)不具毒性
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回覆: 氦氣測漏儀--真空系統測漏皆選用氦氣測漏儀,而為何選用氦氣做為示蹤氣體?
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張冠迪
Basic Member
Posts:102
2013-09-18 05:51:25
(1)質量最輕的惰性氣體(4 a.m.u.),能穿透微小的細縫或小孔.
(2)能很容易的被質譜儀偵測到,亦即很容易和質量相近的氣體分開.
(3)在大氣中存在的量很少,只有5ppm
(4)價格合理
(5)無破壞性
(6)不具毒性
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