真空計--用於高真空之離子式真空計，常見的有冷陰極真空計(Cold Cathode Gauge, or Penning Gauge)以及熱陰極真空計，或直接稱之為離子真空計(Hot Cathode Gauge, or Ionization Gauge, Ion Gauge),何謂之? - 中英友科技有限公司 - 中英友科技(安百立科技)，Partnertech Instruments International Corporation，DC、RF Power Supply(電源供應器)，MFC氣體質量流量計，各種真空幫 - 線上論壇

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主題: 真空計--用於高真空之離子式真空計，常見的有冷陰極真空計(Cold Cathode Gauge, or Penning Gauge)以及熱陰極真空計，或直接稱之為離子真空計(Hot Cathode Gauge, or Ionization Gauge, Ion Gauge),何謂之?

張貼由張冠迪在 2013-05-24 14:11:13
1.冷陰極真空計 (Cold Cathode Gauge, or Penning Gauge) [原理] 低氣體壓力時，由Penning 放電電流大小之量測以做壓力指示.由不加熱之高壓電極間產生所謂的冷放電現象，即冷陰極真空計名稱之由來。 [特性]堅固耐用售價不高；使用容易，其操作僅為控制單元上之“開關”動作。污染之探測頭可清洗準確度不如離子真空計，指示壓力隨氣體種類變化 [注意事項]在高真空(<10^-6 Torr)情況下，不易開啟。如果指示錶上指針晃動厲害，表示探測頭內部嚴重污染，必須清洗。 2.熱陰極真空計，或直接稱之為離子真空計(Hot Cathode Gauge, or Ionization Gauge, Ion Gauge) 此種真空計有各種不同的形式，常看到的大概是 Bayard-Alpert Type(B.A. Type)。以此形式而言，包含感測頭以及控制單元，其中控制單元又包含: 電子發射電流調節器(Electron emission current regulater)，電流信號放大器，各電極間偏壓穩定器，以及除氣(degas)電源；燈絲過壓保護線路等。 [原理] 熱燈絲放射之電子被加速後，與系統中的氣體分子碰撞並將之游離，正離子被集極(Collector)收集，所產生之電流大小與分子數目多少，即系統壓力成比例關係由電流之量測以做壓力之指示。 [特性] 高真空系統中廣為使用之真空計，準確度高，指示壓力隨氣體種類變化。

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回覆: 真空計--用於高真空之離子式真空計，常見的有冷陰極真空計(Cold Cathode Gauge, or Penning Gauge)以及熱陰極真空計，或直接稱之為離子真空計(Hot Cathode Gauge, or Ionization Gauge, Ion Gauge),何謂之?

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2015-09-10 01:39:27
冷陰極真空計和熱陰極真空計在相同真空讀值時，其到達該真空讀值的時間長短是否不一樣？哪一類真空計會比較快到達該真空值? 例如： Edwards AIM(冷陰極真空計)和AIGX(熱陰極真空) 這兩款 gauge，其真空量測範圍大約在 1.0E-3 ~1.0E-8 torr，哪一類真空計會比較快到達 2.0E-7 torr? 時間大概分別是多久？

張冠迪

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Posts:102

2013-05-24 06:11:13
1.冷陰極真空計 (Cold Cathode Gauge, or Penning Gauge) [原理] 低氣體壓力時，由Penning 放電電流大小之量測以做壓力指示.由不加熱之高壓電極間產生所謂的冷放電現象，即冷陰極真空計名稱之由來。 [特性]堅固耐用售價不高；使用容易，其操作僅為控制單元上之“開關”動作。污染之探測頭可清洗準確度不如離子真空計，指示壓力隨氣體種類變化 [注意事項]在高真空(<10^-6 Torr)情況下，不易開啟。如果指示錶上指針晃動厲害，表示探測頭內部嚴重污染，必須清洗。 2.熱陰極真空計，或直接稱之為離子真空計(Hot Cathode Gauge, or Ionization Gauge, Ion Gauge) 此種真空計有各種不同的形式，常看到的大概是 Bayard-Alpert Type(B.A. Type)。以此形式而言，包含感測頭以及控制單元，其中控制單元又包含: 電子發射電流調節器(Electron emission current regulater)，電流信號放大器，各電極間偏壓穩定器，以及除氣(degas)電源；燈絲過壓保護線路等。 [原理] 熱燈絲放射之電子被加速後，與系統中的氣體分子碰撞並將之游離，正離子被集極(Collector)收集，所產生之電流大小與分子數目多少，即系統壓力成比例關係由電流之量測以做壓力之指示。 [特性] 高真空系統中廣為使用之真空計，準確度高，指示壓力隨氣體種類變化。

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