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真空乾式幫浦--在半導體製程中，乾式幫浦(Dry pump)應用上有以下幾點考慮之重點

最新張貼時間 2013-03-01 06:33:00 張冠迪. 0 回覆.

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張冠迪

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2013-03-01 06:33:00	引用回覆
1.安全性(Safety) 2.潔淨真空(Clean vacuum) 3.低運轉成本(Low running costs) 4.可靠性(Reliability) 5.優良之真空性能(Good vacuum performance) 6.維修週期長(Minimum maintenance)

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