1.壓力測量技術或壓力探頭不合適，或是讀不出正確的壓力。
舉例來說，受污染的Pirani 計可指示出比系統中實際壓力高出幾倍的壓力。
2.加入種類錯誤的真空油。
3.真空系統有洩漏。
4.氣鎮控制裝置安裝不當。
5.油位低於下限。
6.油受到污染。
7.真空配合件髒了或壞了。
8.抽氣口過濾器堵住。
9.幫浦未暖機。