主要原因有三個
==實漏(real leak)
==虛漏(virtual leak)
==逸氣(outgassing)

實漏(real leak)
--主要為真空系統外面的氣體,經由系統殼體,管壁
焊接缺陷或括傷刀口之法蘭(flange)接頭進入真
空腔體內部

虛漏(virtual leak)
--真空系統中的侷限的氣體分子之逸出,常發生於真空
封合焊縫,螺紋間隙及夾層之氣體逸出

逸氣(outgassing)
--其一,為真空系統所吸附的氣體分子被放出,常見於螺絲,O型環真空封合及電子槍披覆加熱
--其二,設備儀器內存有高蒸氣壓物質,當真空度達其蒸
氣壓時,此物質即蒸發成氣體