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真空抽氣系統--渦輪分子幫浦系統使用注意事項有哪些?
最新張貼時間 2013-08-23 06:10:20 張冠迪. 0 回覆.
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張冠迪
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2013-08-23 06:10:20 引用引用 回覆回覆  
1.任何碎片都可能造成幫浦葉片之損壞,因此需加裝濾網於turbo pump 上方或改變進氣方向。
2.渦輪分子幫浦必須由高真空側放氣。
3.若chamber已為高真空,而停掉turbo pump,卻讓機械幫浦經由前級閥門繼續抽氣,則會造成油蒸氣回流。
4.不可由turbo pump之排氣端放氣。
5.不可選用太小之前級幫浦。(渦輪分子幫浦抽氣速率約為前級幫浦的30至60倍)。


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