1.真空系統是由許多不同的副件(Part)所組成的，如：閥( Valves)、管件(Tubing)、壓力計等，其中最重要的是pump。是真空系統的心臟是各種儀器及設備獲得低壓的來源。PUMP分兩種：一“為壓縮式”另為凝氣式。前者為RP BP DP 後者為CP真空PUMP其操作的方式及原理的不同而分為以上幾種主要型式 ，其目的不外乎是要將設備或儀器內的分子濃度降低，降阺壓力。
2.真空系統通常由兩個以上的PUMP相串接或並接而成，所以前級真空PUMP的抽氣量，將決定後者PUMP之性能的依據，真空PUMP所提供的最低壓力則稱“終極壓力”
3.真空系統的整體抽氣速率相關的參數稱為“傳導度”，單位與抽氣速率相同(l/sec)傳導度指真空系統傳導流體的能力其倒數便是真空系統阻礙流体傳導的 程度。類似“歐姆定律”的導電度與電阻率呈倒數相等的關係。真空系統除了PUMP以外，還由各種閥及管徑大小不同且長短互異的管件所組成，假設這些副件組成“整體”(相當於電學的電阻)為R，且各個閥及管件等個別副件的“流阻”為R1 R2 R3真空系統以串聯相連接其傳導度為1/c=1/c1+1/c2+1/c3