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真空抽氣系統--要如何建立一組高真空抽氣系統?
最新張貼時間 2013-07-26 07:00:52 張冠迪. 0 回覆.
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張冠迪
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2013-07-26 07:00:52 引用引用 回覆回覆  
1.所謂的高真空系統是由一個低真空幫浦和一個高真空幫浦所組成
2.低真空幫浦可依製程選用油式或乾式真空幫浦
3.高真空幫浦可選用Diffusion或 Turbo pump
4.也可以加上一組真空計,以量測系統真空度
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