熱敏電阻真空計主要亦用於中級真空範圍，由於其結構簡單、堅固耐用、成本低廉且幾乎無需維護，亦廣為各領域所採用。其使用之範圍與熱電偶真空計大致相同，量測不確定度較熱電偶真空計略大一些。

熱敏電阻實際為一負溫度係數之半導體，當環境溫度變高時，熱敏電阻之阻值反而降低，早期多用於測溫及電路之過熱保護。在真空量測的領域中，可利用熱敏電阻此一感溫之特性，以其取代前述派藍尼真空計之加熱燈絲，並採用與派藍尼真空計類似之電路。當電流流過熱敏電阻時，會導致熱敏電阻發熱，在不同的真空壓力下，由於氣體分子對發熱物體之熱量傳導不同，會使熱敏電阻之阻值產生變化;經由適當的處理與校正，由此阻值之變化即可得知真空壓力之變化。