典型機型的最大量測範圍可由1*10-3至20mbar(或1至20000 micron)，較佳之量測範圍約由1*10-2至5mbar(或10至5000 micron)，其量測不確定度在此一範圍約為30%至50%，在接近其量測範圍之上下極限處，其量測不確定度都相當的大，故熱電偶真空計在其量測範圍兩端部分之讀值僅能供參考。

熱電偶真空計感測頭的最大特色就是利用熱電偶感溫之特性，直接量測真空感測頭內發熱燈絲(如以熱電偶為加熱體時則為熱電偶本身)之溫度，由熱電偶感測溫度之變化，即可得知真空壓力之變化。就其感測頭實際結構而言，最簡單的就是將熱電偶緊密銲接於發熱體(如發熱燈絲)上，並將熱電偶之輸出接至信號放大與處理之類比電路，以及可顯示真空壓力值之表頭或數位顯示電路。