1.派藍尼真空計(Pirani gauge )
派藍尼真空計可說是中真空範圍下使用最為廣泛的真空計，較高階機型的量測範圍可由5*10-4至1020mbar(3.75*10-4至760 mmHg)，其量測不確定度在10-3至10-2mbar之範圍不大於20%，在10-2至102 mbar之範圍不大於15%。至於一般機型的量測範圍可由1*10-3至100mbar，其量測不確定度在10-2至10mbar之範圍約為30%至50%。但不論是高階或低階之機型，在接近量測範圍之上下極限處，其量測不確定度都相當大，故派藍尼真空計在其量測範兩端部分之讀值僅能供參考。
2.熱電偶真空計(thermocouple gauge)
熱電偶真空計主要用於中級真空範圍，由於其結構簡單、堅固耐用、成本低廉且幾乎無需維護，故廣為各顉益域所採用。典型機型的最大量測範圍可由1*10-3至20mbar(或1至20000 micron)，較佳之量測範圍約由1*10-2至5mbar(或10至5000micron)，其量測不確定度在此一範圍約為30%至50%，在接近其量測範圍之上下極限處，其量測不確定度都相當的大，故熱電偶真空計在其量測範圍兩端部分之讀值僅能供參考。
3.熱敏電阻真空計(thermistor guage)
熱敏電阻真空計主要亦用於中級真空範圍，由於其結構簡單、堅固耐用、成本低廉且幾乎無需維護，亦廣為各領域所採用。其使用之範圍與熱電偶真空計大致相同，量測不確定度較熱電偶真空計略大一些。