PFEIFFER HiPace 80/300/400/700 高真空渦輪分子幫浦(Turbopumps)

  型號名稱

  HiPace 80

  HiPace 300

  HiPace 400

  HiPace 700

  連接法蘭(進氣口)

  DN 63

  DN 100

  DN 100

  DN 160

  連接法蘭(排氣口)

  DN16

  DN16

  DN 25

  DN25

  抽氣速率

氮氣 N₂   67  l/s

氮氣 N₂   260  l/s

氮氣 N₂   355  l/s

氮氣 N₂   685  l/s

氦氣 He   58  l/s

氦氣 He   255  l/s

氦氣 He   470  l/s

氦氣 He   655  l/s

氫氣 H₂     48  l/s

氫氣 H₂     220  l/s

氫氣 H₂     445  l/s

氫氣 H₂     655  l/s

  壓縮比

氮氣 N2  >1 x 10¹¹

氮氣 N2  >1 x 10¹¹

氮氣 N2  >1 x 10¹¹

氮氣 N2  >1 x 10¹¹

  終極壓力

  <1 x 10^-7   mbar

  <1 x 10^-7

  <1 x 10^-7

  <1 x 10^-7

  啟動時間

  1.7 min

  3.5 min

  2 min

  2 min

  重量

  2.4  kg

  5.8  kg

  11.6 kg

  11.5  kg