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ASM390 氦氣測漏儀

ASM390 氦氣測漏儀

Low maintenance requirement

領先業界最長保固時間2年

 

Performances

粗抽幫浦:ACP40

渦輪分子幫浦:Splitflow80

最小量測漏率(負壓測試):< 1*10-12 mbar.l/s

 

一、產品主要特色

 

1高效能、高抽氣速度、更短的開機時間、更低的漏率偵測值。

2、符人體工學握把、更大的輪子,移動更方便。

3、操作介面簡單,且更加人性化。

4、前級幫浦為多段魯式設計(Multi-Roots technology),完全無油、無粉塵產生。

5可符合嚴苛環境及半導體製程使用:例如 EtchCVDImplant….

6、雙燈絲設計,可替代使用。

 

二、產品領先業界規格設計功能

 

最小量測漏率(負壓測試)

< 1*10-12 mbar.l/s

最小量測漏率(正壓測試)

< 2*10-8 mbar.l/s

最大入口測試壓力

20    bar

粗抽能力

35 m3/h

氦氣抽氣速率

>25 l/sec

開機時間

2 min

電壓

110~220V

最大功率

1800W

尺寸 (L*W*H)

1072*455*1025 mm

重量

132kg

作業環境溫度

10~35°C

 

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