ASM390 氦氣測漏儀

一、產品主要特色

1、高效能、高抽氣速度、更短的開機時間、更低的漏率偵測值。

2、符合人體工學握把、更大的輪子，移動更方便。

3、操作介面簡單，且更加人性化。

4、前級幫浦為多段魯式設計(Multi-Roots technology)，完全無油、無粉塵產生。

5、可符合嚴苛環境及半導體製程使用:例如 Etch、CVD、Implant….。

6、雙燈絲設計,可替代使用。

二、產品領先業界規格設計功能

最小量測漏率(負壓測試)

< 1*10^-12 mbar.l/s

最小量測漏率(正壓測試)

< 2*10^-8 mbar.l/s

最大入口測試壓力

20    bar

粗抽能力

35 m³/h

氦氣抽氣速率

>25 l/sec

開機時間

2 min

電壓

110~220V

最大功率

1800W

尺寸 (L*W*H)

1072*455*1025 mm

重量

132kg

作業環境溫度

10~35°C