UL-1000FAB HLD INFICON 英福康氦氣測漏儀維修

 一、產品主要人性化設計功能

1、接觸式操作螢幕，與背景值有大數字顯示功能

2、業主所要求之測漏數值與曲線圖，可在操作面板上顯示

3、保養時數到期提醒功能，避免重要元件損壞

4、 漏率音響分頻警示，可依聲音頻率判斷漏率是否回升

5、抬車設計大輪子載運，減少機台移動中之震動力量

6、機台使用電壓: 90-240V 50/60Hz(110V、220V電源共用)可以避免

插錯電壓之電源，而造成內部電路板損毀

二、產品領先業界規格設計功能

1.  氦氣漏率最小背景值				5.10-12 mbar.l/s
2、入口端最大測試壓力				GROSS     15 mbar FINE        2   mbar ULTRA    0.4 mbar
3、內部真空系統對於氦氣最大之抽氣速率				GROSS       8    l/s FINE           7   l/s ULTRA      2.5 l/s
4、乾式前級抽氣幫浦				TRISCROLL 600-30 m3/h
5、高真空渦輪分子幫浦				59 l/sec. N2 抽氣速度
6、質譜儀燈絲				鍍Ir 材質(Ir/Y2O3) filaments

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