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ATH-M Series(全磁浮渦輪分子幫浦)

ATH-M Series(全磁浮渦輪分子幫浦)

ATH-M Series(全磁浮渦輪分子幫浦)
ATH 400M, ATH1300M ,ATH1600M,ATH2300M
300~2100 l/s pumping speed 設計
全新磁浮五向動平橫 & N2 purge & Heater 設計
適用PVD, CVD, Etch製程
300~2100 l/s 磁浮渦輪分子幫浦
ATH 400M Turbo punp
ATH 1300M Turbo pump
ATH 1600M Turbo pump
ATH 2300M Turbo pum
數位渦輪控制器
 

 應用領域

  • Glass coating,
  • Micro systems machining,
  • Ion beam rectification,
  • Electron microscopy,
  • Space simulation chambers,
  • Particle accelerators,
  • Semiconductor processes (etch, CVD, ion implant),
  • Coating and thin films deposition,
  • Ion milling
  • And many R&D experiments
     

規格資料

型號 抽氣法蘭 抽氣效率for N2 安裝方向
ATH 400M ISO 100/160 410 l/s Any
ATH 1300M ISO 160/200 1250 l/s Any
ATH 1600M ISO 200/250 1500 l/s Any
ATH 2300M ISO 250 2100 l/s Any

 

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