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ASM 380 氦氣測漏儀

ASM 380 氦氣測漏儀

ASM 380 氦氣測漏儀
ASM 380 主要應用之產業別:
• 半導體產業
• 面板產業
•連續性真空鍍膜產業
• 太陽能發電產業
• 發光二極體產業
• 生物科技製藥產業
 

 一、產品主要人性化設計功能

  1. 接觸式操作螢幕,與背景值有顏色大數字顯示功能
  2. 業主所要求之測漏數值與曲線圖,使用SD卡存取,方便列印存檔
  3. 抬車設計大輪子載運,減少機台移動中之震動力量
  4. 機台使用電壓: 90-240V 50/60Hz(110V、220V電源共用)可以避免插錯電壓之電源,而造成內部電路板損毀

二、產品領先業界規格設計功能

1、氦氣漏率最小背影值 5.10-12 mbar.l/s
2、入口端最大測試壓力 15 mbar
3、內部真空系統對於氦氣最大之抽氣速率 7 l/s
4、乾式前級抽氣幫浦 ACP40-35 m3/h
5、高真空渦輪分子幫浦 150 l/sec. N2 抽氣速度
6、質譜儀燈絲 鍍Ir 材質(Ir/Y2O3) filaments

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