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輔助式魯式真空幫浦抽氣系統

輔助式魯式真空幫浦抽氣系統

輔助式魯式真空幫浦抽氣系統
搭配各式前級幫浦, 可將工作範圍延伸至中真空甚或高真空區域範圍。
低壓下得到更大的抽氣速率。
抽氣速率:150~300~600~1000~2000 m3/h
模組化設計
不需台車架及電控箱
搭配無油式前級幫浦
RSV 301B+RVP 2063SD
最緊密堅實的設計
符合半導體等級的應用
 

 

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