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產品範圍涵蓋廣,可針對不同需求做選擇:
I series : 低噪音、低震動,專為研究單位設計。 SD series : 標準型,不適合做為耐腐蝕應用。 C1 series : 耐腐蝕性氣體專用。 C2 series : 耐腐蝕性氣體,半導體產業專用。