一、ISO法蘭 適用系統:中低真空系統及無需烘烤之高真空系統(>10-8 Torr)使用Viton O型環烘烤至200℃,操作溫度可達150℃。 特性:高分子封合材料O型環可重複使用,且組裝拆卸快速,成本較為經濟。 二、CF法蘭 適用系統:超高真空系統封合(<10-8 Torr)使用金屬墊圈。 特性:滲漏非常微小,法蘭刀口及封合面的尺寸精度及表面粗糙度要求高。 三、ASA-ANSI法蘭 適用系統:中低真空系統及無需烘烤之高真空系統(>10-8 Torr)使用Viton O型環烘烤至200℃,操作溫度可達150℃。 特性:高分子封合材料O型環,封合效果較ISO法蘭佳 |