(1)質量最輕的惰性氣體(4 a.m.u.)，能穿透微小的細縫或小孔.
(2)能很容易的被質譜儀偵測到，亦即很容易和質量相近的氣體分開.
(3)在大氣中存在的量很少，只有5ppm
(4)價格合理
(5)無破壞性
(6)不具毒性