主要原因有三個 ==實漏(real leak) ==虛漏(virtual leak) ==逸氣(outgassing) 實漏(real leak) --主要為真空系統外面的氣體,經由系統殼體,管壁 焊接缺陷或括傷刀口之法蘭(flange)接頭進入真 空腔體內部 虛漏(virtual leak) --真空系統中的侷限的氣體分子之逸出,常發生於真空 封合焊縫,螺紋間隙及夾層之氣體逸出 逸氣(outgassing) --其一,為真空系統所吸附的氣體分子被放出,常見於螺絲,O型環真空封合及電子槍披覆加熱 --其二,設備儀器內存有高蒸氣壓物質,當真空度達其蒸 氣壓時,此物質即蒸發成氣體
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