1.量測範圍: 10-4 Torr~ 10-13 Torr 2.量測原理:熱燈絲放射之電子被加速後,與系統中之氣體分子碰撞,並且將之游離,正離子被集極(collector)收集,其所造成之電流大小與分子數目多少,即系統壓力成比例關系,由電流之量測以作壓力之指示。 3.特性: (a)高真空系統中廣為使用之真空計 (b)準確度高 (c)壓力指示與氣體成份有關 4.熱離子真空計使用時注意事項: (1)壓力高或未知系統壓力時,暫勿使用 (2)感測頭應放置於不易碰撞之位置 (3)燈絲熱時,勿暴露於大氣 (4)不做度量時,關掉真空計以維持壽命,並預防真空系統內壓力突增對真空計可能造成之損害 (5)須瞭解真空系統之特性,含有特殊氣體時需做校正 (6)污染時需清洗 (7)除氣的方法,時機與所需時間如下: (a)柵極(Grid)加熱 (b)電子撞擊(Electeon Bombard) (c)烘烤(Baking) (d)時機:最好氣壓<10-6 torr (e)時間:初次除氣約15~20分鐘,以後約需15秒
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