1.量測範圍: 1 atm ~ 10-4 Torr
2.量測原理: 與熱偶真空計類似，感測頭內有一熱阻係數大的發熱體，氣體分子可帶走發熱體之熱量，當壓力大時，帶走之熱量多，發熱體溫度降低，其電阻值隨之下降，派藍尼真空計利用電阻值的改變以量測壓力。
3.量測技術:
派藍尼真空計的測壓管(gauge tube)主要為一金屬或玻璃的管，其中有一具有高電阻溫度系數的燈絲(filament)，當電流通過燈絲時，燈絲發熱維持溫度在100°C到125°C間。在應用時，此真空計有三種操作模式，即:
A.定電壓變電流式
B.定電流變電阻式
C.定溫度(定電阻)變電壓
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