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張貼由 張冠迪 在 2013-06-28 16:05:09 1.量測範圍: 1 atm ~ 10-4 Torr 2.量測原理: 與熱偶真空計類似,感測頭內有一熱阻係數大的發熱體,氣體分子可帶走發熱體之熱量,當壓力大時,帶走之熱量多,發熱體溫度降低,其電阻值隨之下降,派藍尼真空計利用電阻值的改變以量測壓力。 3.量測技術: 派藍尼真空計的測壓管(gauge tube)主要為一金屬或玻璃的管,其中有一具有高電阻溫度系數的燈絲(filament),當電流通過燈絲時,燈絲發熱維持溫度在100°C到125°C間。在應用時,此真空計有三種操作模式,即: A.定電壓變電流式 B.定電流變電阻式 C.定溫度(定電阻)變電壓